Nanocalc 系列膜厚測(cè)量?jī)x的工作原理和特點(diǎn) 利用白光干涉測(cè)量法的原理，NanoCalc-2000用一個(gè)寬光譜的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和消光系數(shù)k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc-2000根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述，從而保證了不同類型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。
Nanocalc系列膜厚測(cè)量?jī)x的特點(diǎn)：
UV/VIS/NIR高分辨率的配置
測(cè)量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
可測(cè)量4層薄膜的任意3層
薄膜測(cè)量zui小可至10nm，zui大可至400um
可測(cè)量zui小1nm厚的透明金屬層
提供用于復(fù)雜外形材料測(cè)量的試驗(yàn)臺(tái)及附件
對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫(kù)，保證各種材料的測(cè)量
