更新時間:2024-11-14
簡要描述:
Nanocalc 系列膜厚測量儀NanoCalc-2000是一種用戶可配置的膜厚測量系統,它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學或非光學薄膜厚度,可廣泛用于半導體、醫療和工業生產中。
Nanocalc系列膜厚測量儀的原理:
利用白光干涉測量法的原理,NanoCalc-2000用一個寬光譜的光源來測得不同波長的反射數據,由于反射率n和消光系數k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc-2000根據這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述,從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。
Nanocalc系列膜厚測量儀的特點:
NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR膜厚測量儀的技術參數: