更新時間:2024-11-14
簡要描述:
SPECEL系列橢偏儀SPECEI-2000是一款應用橢圓偏光原理的臺式薄膜測量系統,適用于平面多層膜厚測量,如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測量光的多層反射,除了強度之外,也可以測量相對的相位和振幅變化,利用這種技術可以同時對多種參數進行測量。
SPECEL系列橢偏儀和常規橢偏儀相比,SPECEL系列橢偏儀要便宜一半左右,并且還具有以下特點,系統集成了光源、導光器件,可旋轉的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件,其光源入射角設定在70°,但用戶可根據需要設定為65到75°,整套儀器想當小巧,尺寸僅為52cm*33cm*24cm。
的特點:
膜厚準確度在1nm,精度在0.1nm
可測量多達25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um,450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm,光學分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量,如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項包括2D位移功能,標準晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式
的技術指標: